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真空烧结炉的使用必备技巧

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真空烧结炉的使用必备技巧

发布日期:2018-03-28 作者: 点击:

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。真空烧结炉使用有哪些注意事项?日常使用中有哪些应急计划?跟小编一起来看看吧! 油淬真空炉




一、真空烧结炉的使用必备技巧


真空烧结炉是在抽真空后充氢气保护状态下,利用中频感应加热的原理,使处于线圈内的钨坩埚产生高温,通过热辐射传导到工作上,适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。安装电炉的场所应符合真空卫生的要求,周围的空气应清洁和干燥,并有良好的通风条件,工作场地不易扬起灰尘等。真空炉


真空烧结炉的日常使用技巧:


1、检查控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。


2、控制柜安装在相应的地基上,并固定。


3、安照接线图,并参考电气原理图,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保证接线无误。


4、检查电器可动部分应活动自如,无卡死现象。


5、绝缘电阻应不低于2兆欧姆。


6、真空电炉各阀门必须在关闭位置。


7、控制电源开关放在关位。


8、手动调压旋钮逆时针旋动头。


9、报警钮放在开位。


10、按平面图完成设备的循环冷却水联接,建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水),防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。


小编特别提醒使用真空烧结炉时如下几点需特别注意:


1、由于模具一般由用户自备,模具材料基本上选用高纯石墨,其耐压极限为40MPa,建议用户使用在30MPa以下比较安全,加压前应计算模具上、下冲头的面积,再换算成压力,具体公式如下:


系统允许加压(吨)=上或下冲头面积×30MPa


2、热电偶为钨铼型,使用过会发脆,不能接触。如损坏应及时更换。其型号是W2型。


3、冬天应注意循环水的保暖问题,否则易发生水管爆裂。


4、使用后炉体应保持真空,因炉内保温层易受潮,保真空这样下次抽真空会快些。


5、因设备较复杂,建议专人使用,专人负责,对新手严格实行用前培训,用后检查,操作使用要有记录等设备使用规定。


6、本热压炉也可当作真空烧结炉使用,用于真空烧结炉时注意,在炉内放置坩埚后,在盖上保温屏盖后不要忘记再盖其中间的小盖。否则易烧损电炉。


7、操作前应做到清洁观察窗玻璃,清洁炉内壁,观察水压情况,观察炉内石墨是否有损坏,上电后观察仪表显示是否正常,测试液压系统能否正常工作。


8、电炉使用一年后应将仪表后送计量部门进行校对。


二、真空烧结炉的应急方法


冷却水异常


1、确认加热电源已停止。


2、炉外发生漏水,冷却水量异常时,应尽快采取应急措施,如能保证水量,请继续保持真空,如不能采取应急措施,保持原状,确认设备冷却下来。


3、冷却水发生异常时,设备处于停止状态,马上接通紧急用冷却水。


4、在高温(超过200℃即视为高温)时,如果冷却水停止了,如果不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。


压缩空气的停止


1、压缩空气异常报警时,设备处于停止状态,应尽快到备用的压缩机房,让其恢复工作。


2、真空中如压缩空气异常报警,且恢复需要较长时间时,则终止真空,让设备停下来。


突然停电


1、停电时,如果断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。


2、如果在非升温、加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,继续运转如需要较长时间,则将设备保持原状。


3、如果正在加热和冷却时,能够尽快恢复时,重新启动设备,如果需要较长时间时,则保持原状,让设备自然冷却下来。


加热电源掉电


1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。


2、接地故障。


3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。


4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。


5充气气体(氩气或氮气)停止


1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。


2、如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。


3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。


4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。


真空室压力恶化


1、真空排气时间比通常长时,应把设备停下来进行检查,根据真空室内构造物不同状态下放气的影响,也有导致压力升高的情况。


2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。


以上内容就是小编为大家介绍的真空烧结炉的使用必备技巧及日常应急方法,在真空和保护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中间化合物粉末加热烧结,要获得一定密度和具有一定机械性能的材料时,一般采用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结具有温度高、真空度高、热压力高的特点


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